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采暖设备

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美国Virginia理工大学的WangAnbo等人利用蓝宝石的ICP干法刻蚀及蓝宝石的热压键合工艺,制作了全蓝宝石结构的F-P腔,该传感器的最高使用温度可达1500℃,如图3所示。

电极上蒸镀一层绝缘层。

当薄膜受压力作用时,薄膜会发生一定的变形,因此,上下电极之间的距离发生一定的变化,从而使电容发生变化。

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结束语随着硅、微机械加工技术、超大集成电路技术和材料制备与特性研究工作的进展,使得压力传感器在光纤传感器的批量生产、高温硅压阻及压电结传感器的应用成为可能,在生物医学、微型机械等领域,压力传感器有着广泛的应用前景。

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